MCS设备
光谱仪模块

蔡司MCS系列

灵活的高性能光谱仪

MCS UV-NIR在190 - 1015 nm的光谱范围内具有优异的性能。由于具有不同的光学入口和外壳设计,它能够灵活作业,不同的探测器选件也保证了优异的信噪比或高灵敏度。

  • 高分辨率
  • 快速读出
  • 长期校准
  • 大数值孔径(0.22)
  • 高可重复性
MCS设备侧视图

MCS光谱仪设计

特点

蔡司MCS采用数值孔径为0.22、带定制狭缝的光纤耦合SMA截面转换器,可尽可能地提高光通量。蔡司像差校正型全息光栅可确保25 mm的平面光谱图像。该模块系列提供不同的材料(陶瓷/铝)和外壳设计。MCS模块既可配备PDA阵列来实现超过11,000的最高信噪比,也可配备BT-CCD探测器来满足弱光应用。

MCS FLEX设备

MCS定制选件

您的OEM应用合作伙伴

  • 光学输入:SMA截面转换器/FC连接器和/或定制狭缝20/40/50/70 μm
  • 具有不同闪耀波长(200/250/300/750 nm)的蔡司光栅
  • 190 - 1100 nm范围内的定制光谱覆盖范围选择
  • TE冷却型/非冷却型BT-CCD或PDA探测器选件
  • 带USB 2.0/3.0/以太网接口的操作电子器件
  • 蔡司Aspect软件或SDK
  • 高可扩展性满足批量生产需求
洁净室中等离子体腔旁的MCS光谱仪模块

MCS应用

蔡司高性能全能机

  • 厚度测量:显示屏、光刻胶、介电层、涂层
  • 半导体:等离子体监测、关键尺寸测量、CMP、晶圆检验
  • 制药:化合物分析、高压液相色谱法
  • 环境传感器:污染监测、连续排放监测系统
  • 食品和农业:水果分拣、肉类和乳制品、植物健康监测

规格参数

MCS CCD 高(UV)灵敏度、陶瓷外壳
MCS FLEX CCD 高(UV)灵敏度,铝合金外壳
MCS PDA 优异信噪比,
陶瓷外壳
MCS FLEX PDA 优异信噪比,铝合金外壳

通用

光谱范围

190 - 980 nm

190 - 1015 nm

分辨率(FWHM)

3 nm

3 nm

杂散光

< 0.1% (@340 nm,氘灯,NaNO2 50 g/l,1 cm)

< 0.1% (@340 nm,氘灯,NaNO2 50 g/l,1 cm)

波长精度

≤ 0.5 nm

≤ 0.3 nm

温度漂移

< 0.01 nm/K

< 0.009 nm/K

< 0.005 nm/K

< 0.009 nm/K

光学入口

带横截面光纤转换器的SMA(Ø 0.5 mm输入,70 × 1400 μm输出),可选狭缝(20/40/50/70 μm)

带横截面光纤转换器的SMA(Ø 0.5 mm输入,70 × 2400 μm输出),可选狭缝(20/40/50/70 μm)

数值孔径

0.22

0.22

光栅

248 l/mm,闪耀型适用250/750 nm波长

248 l/mm,闪耀型适用250 nm波长

248 l/mm,闪耀型适用200/250/750 nm波长

248 l/mm,闪耀型适用250 nm波长

探测器

探测器类型

滨松BT-CCD S7031-1006(1044 × 64 px)

滨松NMOS S3904-1024Q(1024 px)

像素大小

24 × 24 μm

25 × 2500 μm

信噪比

1000

12000

电子器件(选配)

数字化

16位ADC

16位ADC

积分时间

> 3 ms

> 1.1 ms

接口

USB 2.0、3.0/以太网

USB 2.0、3.0/以太网

物理环境

工作温度

0… 65 °C(非冷凝)

0… 65 °C(非冷凝)

尺寸 长×宽×高

177 × 75 × 128 mm³

160 × 68 × 122 mm³(短光纤转换器),198 × 68 × 122 mm³(长光纤转换器)

159 × 75 × 108 mm³

160 × 62 × 122 mm³

MCS UV-NIR光谱覆盖范围 波长选择指南

  • 光谱范围
    探测器

    MCS CCD UV-NIR

    190 - 980 nm

    滨松BT-CCD S7031-1006(1044 × 64 px),TE冷却型

    MCS CCD NIR

    600 - 980 nm

    滨松BT-CCD S7031-0906(532 × 64 px),TE冷却型

  • 光谱范围
    探测器

    MCS FLEX CCD UV-NIR

    190 - 980 nm

    滨松BT-CCD S7031-1006(1044 × 64 px),TE冷却型

  • 光谱范围
    探测器

    MCS PDA UV

    200 - 620 nm

    滨松NMOS S3904-512Q(512 px)

    MCS PDA UV-VIS

    300 - 720 nm

    滨松NMOS S3904-512Q(512 px)

    MCS PDA UV-NIR

    190 - 1015 nm

    滨松NMOS S3904-1024Q(1024 px)

    MCS PDA VIS

    360 - 780 nm

    滨松NMOS S3904-512Q(512 px)

    MCS PDA NIR

    695 - 1100 nm

    滨松NMOS S3904-512Q(512 px)

  • 光谱范围
    探测器

    MCS FLEX PDA UV-NIR

    190 - 1015 nm

    滨松NMOS S3904-1024Q(1024 px)

下载

蔡司MCS光谱仪系列

    • ZEISS Spectrometer Modules

      Compendium of products, electronic components and software solutions

      页: 27
      文件大小: 2 MB
    • ZEISS OEM Spectrometers for Semiconductor Process Control

      Semiconductor Process Control

      页: 3
      文件大小: 1 MB
    • ZEISS MCS Dimensions

      页: 1
      文件大小: 2 MB
    • ZEISS MCS FLEX Dimensions

      页: 1
      文件大小: 1 MB

蔡司光谱仪的操作电子器件和软件

  • 蔡司光谱仪的操作电子器件

    蔡司为我们的MCS光谱仪模块提供定制的操作电子器件,具体取决于探测器类型:BT-CCD或NMOS光电二极管阵列。这包括前置放大器、前端和USB/以太网接口电子器件,以及Peltier冷却式CCD图像传感器的温度控制器。此外,蔡司还提供不同的软件工具:ASPECT PLUS采集和分析软件或软件开发工具包(SDK),以便在工业环境中更好地实现集成。

  • 前置放大器电子器件

    前置放大器和前端电子器件与光谱仪模块相匹配。前置放大器可直接安装到光谱仪模块上。其作用是放大探测器阵列的低模拟输出信号,并尽量减少可能的模拟信号干扰。

  • 前端电子器件

    前端电子器件是光谱仪系统前置放大器和接口电子元件之间的适配器。它们可以对放大的模拟视频信号进行预处理,并执行模数转换。之后,数字化的值将作为字节顺序数据流发送给接口电子器件。凭借准确的定时和集成滤波的电源电压的配置实现了高动态和信号稳定性。

  • 高速接口电子器件

    蔡司提供高速数字光谱数据采集控制器,配有PCI、USB 2.0/3.0和以太网接口,用于与电脑进行通信。因此,接口电子板是前端电子器件和电脑之间的连接件。进行远程通信时推荐使用10/100 Base-T以太网接口,其非常适合用于分散式系统和监控。

  • TE冷却型传感器的温度控制器

    蔡司MCS CCD光谱仪尤其适用于弱光应用,并配备薄型背照式FFT-CCD探测器。MCS CCD可配备带集成热电(TE)冷却器的冷却探测器来减少暗电流/噪声, 也可配备非冷却型CCD探测器。考虑到结合冷却型传感器工作,制造商提供了PI型PCB温度控制器。温度控制器与CCD传感器板直接相连,并可以叠放在前置放大器板上。风扇冷却式散热片保证了CCD传感器的散热, 使得冷却稳定性可达到优于±10 mK。

  • 蔡司软件解决方案

    蔡司提供不同的软件工具,以满足光谱分析和自动化的需求。即用型ASPECT PLUS软件包提供了一个方便易用的解决方案。它在MS Windows环境下运行,可轻松进行光谱数据的采集和分析。此外,我们还提供包含了编程库的软件开发工具包(SDK),为用户特定的应用赋予灵活性。

    用于采集和分析光谱的Aspect PLUS软件具有清晰的图形界面,支持在最新版的Window系统上运行并控制蔡司光谱仪。它的功能有光谱显示、数据处理程序、动力学和浓度计算或者颜色和薄膜厚度评估模块等。

    OSIS SDK是一款软件开发工具包,用于为蔡司光谱仪的软件应用程序开发提供支持。通过提供的模板,可以使用几种方法从头创建一个应用程序, 也可使用NuGet软件包将OSIS SDK添加到您现有的项目中。32/64位SDK和底层OSIS框架基于.NET Standard 2.0,且不受特定平台或架构的限制。

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