薄膜计量

镀膜工艺过程完成后，系统会通过测量光谱透射率和/或反射来确定特性。这项工作在真空或大气环境的镀膜腔室内完成，必要时会立即提供数值以进行纠正性干预。

无需用户干预，系统即可连续测量和记录颜色、膜层均匀性或不同视角下的颜色感知等质量参数。

系统可用于在过程中测量镀膜参数。其特点是测量速度快、精度高且无需调整样品。

所有ThinProcess®测量系统均将结果存储在SQL数据库中，并通过选配的现场总线接口集成至过程控制系统。此外，它们也可集成到MES中。