蔡司XENOS

蔡司XENOS在Y方向上有两个线性驱动装置，通过蔡司开发的新技术：中央驱动装置实现同步。该装置可确保根据X轴的位置优化驱动力分配。

这得益于新一代的控制器和算法。这是在整个测量范围内实现高精度和路径一致性的关键因素。

蔡司XENOS的所有轴均使用线性驱动装置。优势：高速、极快的加速度、高定位精度和无剪切力驱动。结合高分辨率标尺，蔡司XENOS上使用的线性驱动装置可提供高路径附着力和低于100纳米的高定位精度。

例如，测针挠度更恒定，因此精度更高。在测量曲面时，另一个优点也十分明显：测针越可靠、越准确地沿着指定路径移动，便越能准确地确定误差。
 

蔡司XENOS在决定精度的机器部件中使用了创新的碳化硅陶瓷。目前，这种材料还极少被用于类似的部件尺寸或精度。

相较标准的氧化铝陶瓷，碳化硅陶瓷的热膨胀率低约50%，刚度高30%，重量轻20%。其硬度是钢材的两倍。