ORION NanoFab

ORION NanoFab

用于亚 10 纳米级应用的离子束显微镜

ORION NanoFab

  • 介绍
    EVO® HD – 高性能、全方位灵活性

    集 3 种聚焦离子束于一身的显微镜,可以实现亚 10 nm 结构的超高精度加工

    快速、精准的亚 10 纳米结构加工。借助 ORION NanoFab 显微镜可在镓、氖及氦离子束之间实现无缝切换:

    • 氖离子束可以快速高效地进行纳米结构加工。
    • 氦离子束可以加工亚 10nm 级精度的结构。
    • 备选的镓聚焦离子束能够进行大块样品材料的刻蚀。


    ORION NanoFab 集镓、氖、氦三种离子束于一身,是能实现从微米到纳米微加工的先进成像加工系统。


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  • 特点
    • 快速亚 10 nm 结构加工
      使用氖和氦离子束加工有超高精度要求的精细亚 10 纳米结构。无论是使用溅射、气体辅助切割、气体辅助沉积或是光刻技术刻蚀材料,在亚 10nm 加工应用中 ORION NanoFab 均表现不凡。

    • 集三种离子束显微技术于一体
      使用镓聚焦离子束刻蚀大块材料。利用精准的氖离子束快速完成微加工,利用氦离子束加工精细的亚 10 纳米级结构。利用氦和氖离子还可以防止传统 FIB 镓粒子注入引起的基体材料性质变化。

    • 高分辨率成像
      借助 0.5 纳米成像分辨率,它可在同一台加工仪器中实现样品的高分辨率成像。与使用场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)成像相比,其可获得 5 至 10 倍的景深并和更丰富的图像细节。

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  • 纳米加工

    Orion NanoFab 拥有纳米加工和成像引擎 - 配有集成软、硬件的控制系统。纳米图形发生器(NPVE)为每个 NanoFab 镜筒提供了一台 16 位扫描图形发生器,以及支持实时图案加工和成像的双信号采集硬件。通过图形化用户界面(GUI)完全控制离子束:可创建一系列可编辑的形状,如矩形、梯形、多边线、直线、折线、椭圆及点。然后,对这些形状进行矢量切割,并通过剂量和加工参数的调节进行完全的过程控制。

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  • 下载

    ORION NanoFab

    Three Ion Beams for Total Flexibility in Sub10-nm Fabrication

    页: 16
    文件大小: 5.416 kB

    White Paper: Sub-10 nm Nano-machining with Multiple Ion Beams

    for High Precision and High Throughput Applications

    页: 5
    文件大小: 1.923 kB

    White Paper: Advancing Oil and Gas Exploration with ORION NanoFab

    页: 6
    文件大小: 2.807 kB

    White Paper: ORION NanoFab: An Overview of Applications

    页: 6
    文件大小: 1.425 kB

    White Paper: ORION NanoFab - Plasmonic Devices Fabricated with Helium Ion Microscopy

    页: 5
    文件大小: 2.478 kB

    Application Note: ZEISS ORION NanoFab

    Imaging Polymers with a Helium Beam

    页: 7
    文件大小: 3.522 kB

    Application Note: ZEISS ORION NanoFab

    TEM Sample Preparation using Gallium & Neon Ion Beams

    页: 7
    文件大小: 6.599 kB

    Application Note: ZEISS ORION NanoFab

    Imaging Polymers with a Helium Beam

    页: 5
    文件大小: 1.502 kB

    Application Note:

    Benefits of ZEISS ORION NanoFab for High Resolution Imaging

    页: 9
    文件大小: 1.269 kB