ORION NanoFab

ORION NanoFab

用于亚 10 纳米级应用的离子束显微镜

ORION NanoFab

  • 介绍
    EVO® HD – 高性能、全方位灵活性

    集 3 种聚焦离子束于一身的显微镜,可以实现亚 10 nm 结构的超高精度加工

    快速、精准的亚 10 纳米结构加工。借助 ORION NanoFab 显微镜可在镓、氖及氦离子束之间实现无缝切换:

    • 氖离子束可以快速高效地进行纳米结构加工。
    • 氦离子束可以加工亚 10nm 级精度的结构。
    • 备选的镓聚焦离子束能够进行大块样品材料的刻蚀。


    ORION NanoFab 集镓、氖、氦三种离子束于一身,是能实现从微米到纳米微加工的先进成像加工系统。


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  • 特点
    • 快速亚 10 nm 结构加工
      使用氖和氦离子束加工有超高精度要求的精细亚 10 纳米结构。无论是使用溅射、气体辅助切割、气体辅助沉积或是光刻技术刻蚀材料,在亚 10nm 加工应用中 ORION NanoFab 均表现不凡。

    • 集三种离子束显微技术于一体
      使用镓聚焦离子束刻蚀大块材料。利用精准的氖离子束快速完成微加工,利用氦离子束加工精细的亚 10 纳米级结构。利用氦和氖离子还可以防止传统 FIB 镓粒子注入引起的基体材料性质变化。

    • 高分辨率成像
      借助 0.5 纳米成像分辨率,它可在同一台加工仪器中实现样品的高分辨率成像。与使用场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)成像相比,其可获得 5 至 10 倍的景深并和更丰富的图像细节。

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  • 纳米加工

    Orion NanoFab 拥有纳米加工和成像引擎 - 配有集成软、硬件的控制系统。纳米图形发生器(NPVE)为每个 NanoFab 镜筒提供了一台 16 位扫描图形发生器,以及支持实时图案加工和成像的双信号采集硬件。通过图形化用户界面(GUI)完全控制离子束:可创建一系列可编辑的形状,如矩形、梯形、多边线、直线、折线、椭圆及点。然后,对这些形状进行矢量切割,并通过剂量和加工参数的调节进行完全的过程控制。

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  • 下载
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    ORION NanoFab

    Three Ion Beams for Total Flexibility in Sub10-nm Fabrication

    页: 16
    文件大小: 5415 kB

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    White Paper: Advancing Oil and Gas Exploration with ORION NanoFab

    页: 6
    文件大小: 2807 kB

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    White Paper: Deposition of Conducting Features with ORION NanoFab

    页: 6
    文件大小: 1780 kB

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    White Paper: Fabrication of Solid-State Nanopores for Biomolecule Detection with ORION NanoFab

    页: 7
    文件大小: 2159 kB

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    White Paper: Graphene Nano-Ribbon Patterning with ORION®NanoFab

    页: 6
    文件大小: 800 kB

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    White Paper: Helium and Neon Ion Beam Lithography with ORION NanoFab

    页: 6
    文件大小: 3587 kB

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    White Paper: Nano-Pore Milling with ORION® NanoFab

    页: 6
    文件大小: 3733 kB

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    White Paper: ORION NanoFab - Plasmonic Devices Fabricated with Helium Ion Microscopy

    页: 5
    文件大小: 2477 kB

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    White Paper: ORION NanoFab: An Overview of Applications

    页: 6
    文件大小: 1424 kB

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    White Paper: Sub-10 nm Nano-machining with Multiple Ion Beams

    for High Precision and High Throughput Applications

    页: 5
    文件大小: 1922 kB

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    Application Note:

    Benefits of ZEISS ORION NanoFab for High Resolution Imaging

    页: 9
    文件大小: 3786 kB

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    Application Note: ZEISS ORION NanoFab

    Rapid Fabrication of Nanopores with Helium Ion Beam and Automation Over a Wafer Size

    页: 7
    文件大小: 3521 kB

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    Application Note: ZEISS ORION NanoFab

    Use gallium and neon ion beams in sample preparation for transmission electron microscope (TEM) investigations combined with ZEISS Orion NanoFab sotware for automated routines and reduced effects of the damage.

    页: 7
    文件大小: 6599 kB

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    Application Note: ZEISS ORION NanoFab

    Imaging Polymers with a Helium Beam

    页: 5
    文件大小: 1501 kB