多离子束显微镜

集 3 种聚焦离子束于一体的显微镜，可以实现亚 10 nm 结构的超高精度加工
ORION NanoFab 集镓、氖、氦三种离子束于一身，是能实现从微米到纳米微加工的先进成像加工系统。