蔡司 Atlas 5

挑战多尺度分析

Atlas 5不仅是一款软件,更是一种先进的技术理念——它将原有的、孤立的表征技术整合成一套以样品为中心的,多手段、多尺度、多模式的成像解决方案。它为蔡司扫描电子显微镜(SEM)、场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)和聚焦离子束扫描电镜(FIB-SEM)进一步赋能,使其能够高效地完成图像导航并关联来自任一数据源的图像,如光学显微镜和X射线显微镜。它可以充分发挥高通量、自动大面积成像的优势。流畅的工作流程助您全面了解样品信息。模块化结构设计更让您可以根据材料科学或生命科学研究领域的日常需求来定制Atlas 5。

  • 采用蔡司SEM、FE-SEM和FIB-SEM进行大面积成像
  • 更轻松、更快速地获取纳米尺度的电镜图像
  • 关联来自多个数据源的多维度图像
  • 使用定制化的工作流程来获取更丰富的样品信息
  • 在关联工作环境下工作,图形用户界面(GUI)使所有的工作都围绕样品开展
  • 利用Thin & Fast Tomography和True-Z功能能够在z方向上实现快速和精准的3D切片成像

优势

自动成像软件的图形用户界面(GUI)基于工作流程,便捷易用。
自动成像软件的图形用户界面(GUI)基于工作流程,便捷易用。

更轻松、更快速地获取纳米尺度的电镜图像

  • 可在无人值守的情况下工作数小时甚至几天获取大量2D或3D纳米尺度的电镜(EM)图像。
  • 采集数千个样品的单幅图像,或在同一块样品上使用数千幅相邻区域图像建立超大图像拼接。
  • Atlas 5提升了自动图像采集的效率,利用高级预设功能和定制方案生成一致且可重复的结果。
 

关联来自多个数据源的图像

  • Atlas 5的关联工作环境可以轻松整合来自多个数据源的图像。在样品宏观尺度信息与纳米细节之间架起了一座桥梁。
  • 可以高效地分析和关联来自不同数据源的图像。如同您的数据中心,无论图像是来自于SEM、FIB-SEM、X射线显微镜、光学显微镜还是您的数码相机,Atlas 5都能够轻松应对。
  • Atlas 5以样品为中心的工作平台让您能够创建无缝、多尺度、多模式的图像。
全固态电池循环性能表征,3D断层图,3D图像&EDS数据,蔡司FIB-SEM,Atlas Analytics。样品由瑞士洛桑联邦理工学院(EPFL)的M.Cantoni提供。

使用定制化的工作流程来获取更丰富的样品信息

  • Atlas 5图形用户界面能够让您从2D和3D层面全面理解样品。
  • 根据实验的复杂性设计精准定制的流程,无论是简单的一步任务还是复杂实验。
  • 先进的工作流程环境会引导您逐一完成从自动采集设置到后期处理和定制输出直至分析的每个环节。

技术

Create Large Mosaic Images

快速提高工作效率

  • 将16位扫描发生器和双超采样信号采集硬件与图像处理和控制软件完美结合。
  • SEM采集图像的分辨率高达32 k x 32 k像素,FIB-SEM采集图像的分别率高达40 k x 50 k像素。
  • 驻留时间从100 ns至100 s以上,以100 ns增量调整图像采集时间。
  • 以8位或16位比特率保存图像。
SEM stitching - SEAMS with Atlas 3D

创建大面积拼接图像

  • 按照实际形状定义ROI并减少拼接图像的数量,从而减少采集时间和计算复杂性。
  • 有效降低载物台运动延迟和因重叠导致的图像部分丢失。
  • 通过优化重叠缝隙,降低电子束辐照对于样品的损伤。
Acquire Images Easier than Ever Before

较之以往更轻松地获取图像

  • 精准定义感兴趣区域,让预定义成像方案只扫描指定的区域。
  • 可以通过编辑个性化实验方案来实现最佳成像条件,从而获得可重复的成像结果。
  • 在长时间的图像采集过程中,先进的自动聚焦和自动消像散功能始终让图像保持清晰锐利。
  • 您可以根据需求随时随地对样品进行成像:Atlas 5支持在多台仪器上进行多任务采集。
  • Atlas 5基于样品的关联界面可关联图像,整合来自多台仪器设备的2D图像和3D数据。
  • 导入和关联来自光学显微镜、X射线显微镜、电镜和FIB-SEM的数据,并生成一致且完整的样品图像。
Correlate with X-ray Microscopy to Target Sub-Surface Sites in Your FIB-SEM

与X射线显微镜关联,为FIB-SEM定位样品的亚表面感兴趣区域

  • 将蔡司X射线显微镜扫描的三维结果与FIB-SEM中成像的二维表面特征相关联。
  • 即使是在表面无法观察到的样品内部,我们也可以使用X射线采集的3D信息来为FIB精准定位。
  • 然后,蔡司FIB-SEM即可轻松导航至感兴趣区域。

模块

Atlas Correlative Workflow

拥有多种配置的蔡司Atlas 5

了解蔡司Atlas 5的模块及其功能和配置。根据需要使用Atlas 5扩展蔡司SEM和FIB-SEM的性能。从其他模块的高级功能中获益并了解它们的组合应用。Atlas 5模块需要Atlas 5软件。可选的分析模块则需要Oxford Instruments的硬件和软件包。FIB-SEM上的Analytics模块需要Atlas 5 3D Tomography。

Array Tomography

阵列断层成像

以下为阵列断层成像的工具

  • 使用克隆工具可轻松获取所有切片的成像区域
  • 使用切片截图工具自动检测切片形状
  • 有效管理采集区域,在不同切片上高效定义子区域
  • 使用图像堆栈导出工具将所有图像编译成3D数据,并使用图像堆栈浏览器进行浏览
  • 3D图像对齐和图像校正功能
抛光岩相薄切片,来自于魁北克北部的过碱性花岗岩
抛光岩相薄切片,来自于魁北克北部的过碱性花岗岩

增强型浏览器格式导出模块

分析、展示并分享实验结果,培训同事和学生:

  • 将单个或多个数据集导出为常规网页浏览器查看格式。
  • E可导出测量结果和注释。
  • 根据数据可创建演示幻灯片并嵌入其他信息,如pdf文件、图像、谱图、影片或音频文件。
  • 让您的同事、学生或同行以优异的分辨率自行浏览数据集,通过闪存或服务器轻松共享数据。
  • 用户可以随时播放或暂停幻灯片,自行浏览数据。
自动FIB-SEM纳米断层成像:使用xROI和关键帧同时采集不同分辨率数据。图片由美国马里兰州贝塞斯达国立癌症研究所、国立卫生研究院的K. Narayan和S. Subramaniam提供。
自动FIB-SEM纳米断层成像:使用xROI和关键帧同时采集不同分辨率数据。图片由美国马里兰州贝塞斯达国立癌症研究所、国立卫生研究院的K. Narayan和S. Subramaniam提供。

以“Thin & Fast Tomography”和“True-z”为特色的三维断层扫描

三维断层扫描包括:

  • 配备自动样品制备的3D FIB-SEM采集模块可实现精准的3D可视化。
  • 在断层扫描过程中测量并精准控制切片厚度,同时获得“True-Z”信息,准确处理实验数据。
  • 对荷电、收缩或电子束敏感的样品通过“Thin & Fast Tomography”可获得准确、连续、均匀的断层图像。
  • 使用xROI(精准感兴趣区域)三维成像、高级样品追踪、预测漂移校正和自动电子束精调功能快速获得高质量数据。
  • 序列图像查看器,配备3D FIB-SEM图像对齐、裁剪和序列图像导出功能。
多层金属系统的3D断层成像,加拿大硬币,研究数据:40 x 40 x 30 μm³,体素大小(20 nm)³,EBSD分析。
多层金属系统的3D断层成像,加拿大硬币,研究数据:40 x 40 x 30 μm³,体素大小(20 nm)³,EBSD分析。

分析

使用集成模块进行3D分析:

  • 为高分辨率FIB-SEM断层成像采集增加3D EDS/3D EBSD分析功能。
  • 单独设置成像和分析表征条件,包括着陆能量、驻留时间和三维空间分辨率。
  • 先进的采集模块会自动在采集期间于分析和成像条件之间进行切换。
  • 在静态配置中采集3D断层成像数据集,以便在载物台静止时采集稳定的3D EBSD数据。
  • 灵活的可视化管理允许您同时观察SEM图像和经处理的分析图像。
  • 在FE-SEM中,将2D EDS元素分布表征集成至工作流程中并自动采集多个感兴趣区域。
使用FIB离子束在硅片上加工成的林肯纪念像。图像是通过直接导入一张未修改过的原始照片加工而成。加工时间:10分钟。
使用FIB离子束在硅片上加工成的林肯纪念像。图像是通过直接导入一张未修改过的原始照片加工而成。加工时间:10分钟。

NPVE Advanced(先进的纳米图形可视化引擎)

您可以利用NPVE精准控制加工几何形状和参数:

  • 同时控离子和电子束分别进行加工和成像。
  • 操作方案能够智能化控制离子束和GIS参数,从而进行稳定刻蚀和沉积控制。
  • 3D profiles和array builder工具可用于优化实验设计。
  • 利用Fastmill,一种特殊的扫描方案,能够更快速且更高效地制备FIB截面,可节省高达40%的刻蚀时间

应用

 

使用蔡司Crossbeam在无铅焊料上获得的3D EDS断层照片

大鼠脑血管,厚切片,SEM图像,拼接。图像使用Atlas 5 Array Tomography采集。
大鼠脑血管,厚切片,SEM图像,拼接。图像使用Atlas 5 Array Tomography采集。
苜蓿,根瘤。使用Atlas 5 Array Tomography采集的SEM图像。样品由美国特拉华大学的J.Sherrier、J.Caplan、S.Modla提供。
抛光岩相薄切片,来自于魁北克北部的过碱性花岗岩。样品由美国科罗拉多州矿业大学的A.Gysi提供。
抛光岩相薄切片,来自于魁北克北部的过碱性花岗岩。样品由美国科罗拉多州矿业大学的A.Gysi提供。
 

对多层金属体系进行EDS和EBSD分析

Atlas图像查看器

Atlas 5

可以查看材料和生命科学研究、半导体或考古学数据集,使用蔡司Atlas 5浏览器格式进行浏览。

点击 此处了解Atlas图像查看器。

 

下载

ZEISS Atlas 5

Your Solution for Automated Image Acquisition, Data Correlation and Multi-modal 2D & 3D Workflows

页: 28
文件大小: 8845 kB

ZEISS Atlas 5 Array Tomography

Image Your Serial Sections Fast and Efficiently – with Nanoresolution

页: 13
文件大小: 4288 kB

Application Note

Visualization of gold and uranium ore-formation in the Witwatersrand ore deposit from the micro- to nanoscale

页: 6
文件大小: 3166 kB

White Paper: ZEISS Atlas 5

Characterization of Solid Oxide Electrolysis Cells by Advanced FIB-SEM Tomography

页: 7
文件大小: 1441 kB

White Paper: ZEISS Atlas 5

Large Area Imaging with High Throughput

页: 6
文件大小: 4056 kB

Application Note:

Cathodoluminescence of Geological Samples: Fluorite Veins

页: 5
文件大小: 5476 kB

Application Note: Multi-scale Characterization of Lithium Ion Battery Cathode Material

Correlative X-ray and FIB-SEM Microscopy

页: 6
文件大小: 1429 kB

Application Note: Multi-scale Correlative Study

Gain insights into corrosion evolution in a magnesium alloy using Atlas 5 that efficiently links and navigates between in situ sub-micron X-ray microscopy, nanoscale X-ray microscopy and FIB-SEM tomography

页: 8
文件大小: 1766 kB

Correlative XRM-FIB/SEM

Study of Thermoelectric Materials

页: 4
文件大小: 1067 kB

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