样品表面三维形貌分析

3DSM

样品表面三维形貌分析

3DSM

三维表面建模

  • 介绍

    扫描电子显微镜对样品表面的三维重构

    扫描电子显微镜能够实现各类样品的二维测量与分析:如需分析样品的三维表面,则可使用蔡司选配的3DSM 软件模块。使用扫描电镜的aBSD或 AsB 探测器就可重构完整三维表面模型来表征样品的表面形貌信息。

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  • 特点

    3DSM

    • 通过电子显微镜上的 AsB (角度选择背散射电子探测器)或 aBSD 探测器(环形背散射电子探测器)进行样品表面的三维重构
    • 与 SEM的操作软件SmartSEM 组合使用,实现实时三维成像,或在独立模式下显示归档项目文件
    • 可完成实时操作,且重构时间 < 2s

     

    3DSM 计量

    • 使用可选配的 3DSM 模块的计量功能升级您的蔡司场发射扫描电镜,以实现自动测量和文档编制,符合 ISO 25178、DIN、ASME 及其他常规检测标准
    • 分析三维表面和生成完整测量报告
    • 表征表面特性和参数,例如步进高度、距离、纳米尺度的轮廓、粗糙度和波纹度、颗粒和晶粒大小
    • 生成含完整计量数值的溯源性报告

     


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  • 下载

    White Paper: 3DSM

    3D Surface Modelling

    页: 6
    文件大小: 426 kB

    Technical Note: GeminiSEM... The real time 3DSM solution

    Extend 3DSM functionality to real time surface reconstruction and metrology in a fast and precise way

    页: 6
    文件大小: 2.131 kB