蔡司 Axio Imager Vario

用于检测大尺寸样品的正置式显微镜

检查大尺寸样品–满足自动化洁净室的要求

从尺寸极小的MEMS传感器到大尺寸晶圆,甚至整个平板显示器,检测期间不会对样品造成破坏。Axio Imager Vario支持的最大样品高度为254 mm,最大横向样品空间为300 mm,大大拓展了可以测试的样品范围。机柱设计确保了良好的稳定性。可满足在洁净室内检测晶圆的应用要求。利用驱动Z轴的电动马达与自动聚焦硬件确保自动调整至理想的聚焦位置。

洁净室
半导体生产和晶圆检测需要在洁净室内进行。根据DIN EN ISO 14644-1标准,以每立方米的颗粒数量和大小将洁净室划分成不同等级。Axio Imager Vario已通过此标准认证,并满足5级洁净室的应用要求。ISO 5级洁净室相当于原先标准FED STD 209E(1992)的100级。洁净室套件中包含一个7x物镜转盘、一个颗粒保护罩和防喷嚏保护罩。

优势

蔡司Axio Imager Vario:  检查大样本-自动化和洁净室兼容
  • 具有两种手动机柱和一种电动机柱(配有符合工业标准的三个模式控制按钮)可供选择,充分利用显微镜的最大横向样品空间300 mm x 300 mm和最大样品高度254 mm的优势。
  • Axio Imager Vario能通过物镜转盘的上下移动来聚焦样品。这意味着即便是较重的样品,依然可以获得高聚焦精度和可重复性。
  • 借助硬件自动对焦功能,可以精准快速地聚焦低对比度的反射样品。
  • 将Axio Imager Vario与LSM 900结合使用,能够以高分辨率无接触地分析敏感样品
  • Axio Imager Vario已通过DIN EN ISO 14644-1认证,并满足5级洁净室的应用要求。

硬件自动对焦

TFT显示屏,明场,透射光,红色、绿色和蓝色子像素
TFT显示屏,明场,透射光,红色、绿色和蓝色子像素

具有硬件自动对焦功能的Axio Imager Vario能够在高达12000 µm的焦点捕获范围内精准快速地聚焦反射样品。聚焦系统能够保证聚焦精度达到所使用物镜景深的0.3倍。自动聚集功能适合于使用反射光、透射光、明场、暗场、偏光、微分干涉相差及斜照明观察方式的应用。

应用

木材,反射光,暗场,EC Epiplan-APOCHROMAT 10x/0,30
木材,反射光,暗场,EC Epiplan-APOCHROMAT 10x/0,30
电路板,反射光,明场,EC Epiplan-NEOFLUAR 5x/0,13
电路板,反射光,明场,EC Epiplan-NEOFLUAR 5x/0,13
晶圆,反射光,暗场EC Epiplan-APOCHROMAT 50x/0,95
晶圆,反射光,暗场EC Epiplan-APOCHROMAT 50x/0,95
单晶硅太阳能电池,反射光,C-DIC,EC Epiplan-APOCHROMAT 50x/0.95
单晶硅太阳能电池,反射光,C-DIC,EC Epiplan-APOCHROMAT 50x/0.95

下载

蔡司 Axio Imager Vario

检测大尺寸样品 – 拥有自动聚焦系统且满足超净室等级要求

页: 24
文件大小: 7894 kB

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