Focused Ion Beam Scanning Electron Microscopes

(FIB-SEM)

蔡司Crossbeam系列

专为高通量样品制备和3D分析而设计的FIB-SEM

Crossbeam 将场发射电子显微镜的成像与分析能力与聚焦离子束的加工能力结合。 无论是刻蚀,成像或做三维分析,Crossbeam将提高聚焦离子束的应用速率。通过新的能谱模块实现大部分的三维成分分析工作。