蔡司氦/氖离子显微技术及其分析应用最新进展网络研讨会

2019-08-29 星期四 | 15:00 -16:30

摘要：蔡司氦离子显微镜以其0.35nm的小束斑，优异的成像能力，受到了显微技术领域的专家和用户的广泛关注和认同。在过去的十多年中，随着氖离子束的开发成功并集成于氦离子束镜筒（氦/氖离子束可随时切换），以及更进一步的将传统的镓离子束镜筒集成于氦/氖离子显微镜系统，使这套技术成了独特的微纳加工和分析平台。其应用领域也从单一的高分辨成像，扩展到了材料的微纳加工、半导体微纳电路修饰与编辑、细胞及亚细胞尺度上的结构修补与成像等，在此基础上，借助于全新的二次离子质谱（SIMS）技术，可在超高分辨率和极低检测限下（ppm级）获得材料表面和内部的元素成分分布，从而在超高分辨下获得材料成分分布、掺杂、同位素表征及工艺过程等更加广泛而深入的信息。

尉东光博士（蔡司美国离子显微技术研发中心）

山西太原人，1996年获得物理化学博士

曾工作于中科院山西煤化所、中科院高技术研究与发展局、美国匹茨堡大学、新泽西理工学院和哈佛大学等研究机构。

2006年初加入蔡司美国公司，历任透射电镜产品经理，（北美）应用技术部主任，现为离子显微技术研发中心高级研究员。

发表学术论文近50篇，其中近10篇发表于Cell、 Nature Materials、Nano Letters、Small、 Advanced Materials、 ACS-Nano等有影响的学术期刊。

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