ZEISS Microscopy

开启离子显微镜新篇章

加入我们,助您的分析平台提升至新高度

见证离子显微镜新的篇章。以全新的方法进行样品制备、断层扫描和分析,让您能够获取材料科学的前沿洞见。探寻更多关于纳米材料、电池、增材制造等研究中的问题。

蔡司Crossbeam 350 和蔡司ORION NanoFab
  • 电池:当您努力优化电池的长期稳定性和使用寿命时,必须要对其进行良好的模拟。由于精确的模型需要准确了解活性电极颗粒等成分,您可能会求助于EBSD分析。然而您可能会发现自己根本无法测到EBSD信号,更不用说从整个样品中获得EBSD数据了。
  • 光伏:例如在太阳能电池中分析分层结构,以提高它们的效率。您希望在纳米尺度获得元素成分的空间分布,以及在大约20纳米的深度范围内获得元素分布信息。传统的EDS无法实现,而现在您需要一种合适的技术。
  • 金属和半导体:在纳米级分辨率下分析深埋的、特定位置的结构,用于半导体封装技术的研究。可避免在分析区域中看到假象,同时实现出色的分析速度。
  • 地球科学:地质样品的分析往往需要观察更小的特征区域,而这是一项极具挑战的工作。目前,由于技术限制很难获取显微结构的化学信息。
蔡司Crossbeam 350 和蔡司ORION NanoFab

材料科学中的应用

应对分析过程中所面临的挑战

陨石样品的元素分布
  • 电池:在Atlas 5软件中,利用蔡司Crossbeam及3D EBSD 可在无需制样的情况下对锂离子电池中活性颗粒的三维晶体结构进行分析
锂离子电池中纳米颗粒的三维晶体结构
太阳能电池中痕量元素的扩散
在无FIB抛光和更少损坏的情况下刻蚀并露出ROI
二次离子质谱(SIMS)的示意图

二次离子质谱(SIMS)

以高分辨率进行多功能元素分析

二次离子质谱(SIMS)的示意图

Crossbeam搭载的飞行时间二次离子质谱,可在纳米尺度分析多层结构。分析痕量元素、轻元素(例如锂)和同位素,不但灵敏度高,且具有全面的3D分析能力。SIMS能够实现样品表面以及沿深度方向的元素分布成像,对于原子和分子离子可同时进行探测,其检测限低至ppm量级,空间分辨率可实现高于 35nm(横向)和20nm(纵向)。

ORION NanoFab氦离子显微镜搭载的SIMS可让您实现分辨率小于15nm的元素分布成像。其利用氖离子束从样品表面溅射出二次电子或离子,再通过改变磁场而固定探测器,或固定磁场移动探测器两种模式得到质谱。在特定分析区域内可实现最多对四种不同的元素种类的空间分布成像。而在纵向同样可获取特定元素的随深度的分布。结合表面及深度的元素分析可对特定样品区域进行3D成像。

LaserFIB

利用飞秒激光刻蚀优化样品制备的速度和质量

利用飞秒激光刻蚀优化样品制备的速度和质量

采用飞秒激光刻蚀对样品进行大规模材料移除,从而将半导体样品的内部结构,例如多芯片封装样品内部的2.5/3D硅通孔结构快速切割出来进行后续分析,同时尽量减少样品伪影。使用飞秒激光增强蔡司Crossbeam的功能,可进行多尺度分析,与使用等离子体源的FIB相比,其速度可获得指数级下降,从而实现非常大样品的制备。阅读这篇关于金属间化合物(IMC)和晶粒结构的研究文章,了解飞秒激光技术的更多优势

利用飞秒激光刻蚀优化样品制备的速度和质量
蔡司Atlas 5软件中的分析模块实现3D EBSD

蔡司Atlas 5软件中的分析模块实现3D EBSD

实现高分辨率3D成像和3D EBSD

蔡司Atlas 5软件中的分析模块实现3D EBSD

在蔡司Crossbeam上使用Atlas 5及其分析模块能够对电池的组件进行分析。您能够充分体会到Atlas 5的3D断层扫描模块中的 ”True z” 切片厚度跟踪和校准功能。使用分析模块,可针对每次3D断层成像任务,分别利用两组优化的SEM和EBSD成像条件进行高分辨率的3D SEM成像和3D EBSD。使用3D工作流程,针对SEM成像和EBSD可独立分别设置切片厚度和着陆电压,然后系统便会在SEM成像和EBSD分析之间进行自动切换。

蔡司显微镜解决方案

了解离子显微镜的创新技术

蔡司Crossbeam 350

具有ToF-SIMS功能的多功能分析型FIB-SEM平台

蔡司Crossbeam 350

蔡司 Crossbeam

产品宣传册

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蔡司ORION NanoFab

HIM搭载SIMS实现高分辨成分分析

蔡司ORION NanoFab

SIMS

白皮书

SIMS是如何工作的?在本白皮书中了解SIMS分析的进展并比较SIMS技术。

蔡司Atlas 5分析模块

获得三维重构和3D EBSD的软件模块

蔡司Atlas 5 Analytics

Atlas 5

产品宣传册

了解分析模块的所有优势,并在Atlas 5产品手册中查看实际应用。

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