In-line Process（原 OPTOPLEX® 4 in-line）
OPTOPLEX® 4 inline 是一套在真空密封环境中用于透明镀膜加工的监测系统。系统使用固定探头执行线内测量，从而能够在穿过下方的基片之间的空隙内校准系统。测量结果包括光谱反射率、透射率、颜色和膜厚。
技术参数
- 测量光谱透射率（380 nm-1100 nm；如有需要可拓展至 1700 nm）
- 测量光谱反射率（380 nm-1100 nm；如有需要可拓展至 1700 nm）
- 可选的 In-line Traverse（原 OPTOPLEX® Q NG ）面电阻测量模块
In-line Process（原 OPTOPLEX® Q NG）
镀膜工艺流程结束后验证成果和校验成品质量是非常必要的。OPTOPLEX® Q NG 的几项自动扫描模式可将预设位置映射至成品上。用户可以在无需专家指导下轻松获取测量参数。我们提供可完成横向扫描的整套测量系统，亦提供单个测量头。
技术参数
- 测量光谱透射率（365 nm-1,100 nm；如有需要可拓展至 1,700 nm）
- 测量光谱反射率（365 nm-1,100 nm；如有需要可拓展至 1,700 nm）
- 可选的面电阻测量模块
- 用于光学外观的可选 OFR155 测量头，55° 观察角
OPTOPLEX®是Leybold Systems GmbH和Applied Materials GmbH＆Co. KG集成ZEISS仪器后的商标
