使用白光照明样品,以几何涂层厚度和材料折射率的函数来创建干涉光谱。当白光入射到光学透明层上时发生干涉,特定波长的光程差就正好是光层厚度的乘积。最大可测厚度取决于光谱分辨能力,最小厚度则取决于所覆盖的光谱范围。即使是较薄涂层的测量,也需要已知绝对强度值。波长的高绝对精度使得测量结果非常可靠。
根据涂层条件,可以使用两种方法来计算厚度:

峰值法:
从干涉光谱的最大值和最小值中推导出涂层厚度。这种方法非常可靠且快速,但易受噪声影响。它适合于 < 5 µm 的单涂层。
快速傅里叶变换(FFT)法:
运用干涉频谱的周期性来计算涂层厚度。这种方法几乎不受噪声影响且适合于厚涂层,但需要大量计算且精度低。它适合于 1-200 µm 的单层或多层系统。
优势
- 不接触且几乎无损伤
- 测量结果精准度高
- 适合于短期和长期可重复性
- 快速重置镀膜参数,在质量和材料消耗方面成本低
使用示例
为汽车,塑料,油漆,化工,包装和微电子等应用领域的光刻胶,薄膜和电介质层提供有价值的厚度信息,用于研发和质量控制。