光栅

衍射光栅

机械刻划或全息记录

光栅 & 棱栅

衍射光栅是一种等间隔光栅刻线的周期性结构。这些槽沟或不透明刻线会根据其周期性和微结构来衍射入射光。根据光的入射角,可在在透射或反射光栅(零阶光栅除外)后的投影表面上辨别出彩虹色图案。这些彩色图案被称为光谱。这种色散效果被用于不同的应用领域。

蔡司使用传统刻线技术和干涉光刻法制造出一系列衍射光栅。全息光栅的优点在于高衍射效率。即使在高槽沟频率和非常低的杂散光下与平面、凹面、凸面、非球面和任意形状衬底上的光栅组合亦如此。很常用的有正弦、层状和闪耀光栅。蔡司光栅能够在可见光和红外光范围内非常可靠地执行测量,即使信号强度低仍具有高检测灵敏度。

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蔡司半导体制造技术