FilmDetect®

FilmDetect® 工艺流程控制系统

快速且高效的独立式解决方案

FilmDetect®

  • 介绍

    FilmDetect®工艺控制系统，是用于在线镀膜检测的快速有效的独立解决方案。可测量膜层厚度，设置反射上限阈值，计算颜色值。容易使用且可单独调节，FilmDetect ®适用于现有膜系产品检测和新膜系产品设计。

    FilmDetect® 专为桌面应用而设计，但也可完全集成至生产线中。 该系统基于我们坚固耐用、性能可靠且结构紧凑的二极管阵列光谱仪， 能够帮助您在在线工艺流程监测和日常工作中大大节省时间和开支。

  • 优势
    • 在线工艺流程控制
    • 以全流程速度执行快速且精准的分析
    • 数据归档
    • 大光斑尺寸，可实现微结构表面快速且精准的在线工艺流程控制
    • 通过紫外光产生荧光执行间接测量
    • 发射光谱检测可稳定真空腔内等离子体
    • 无需另外加装防护机箱
  • 技术参数
    技术参数 FilmDetect®
    涂层数量 > 2（取决于用户膜系结构）
    采样率 每秒的检测次数 ≤ 20
    测量范围 0.40 µm – 25 µm | 0.25 µm – 100 µm（可选）
    数据访问 CSV 文件、OPC、数字输入/输出（按需提供 SQL）
    集成方式 以太网、现场总线
    每秒的检测次数 ≤ 20
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    FilmDetect®

    Thin layer analysis with FilmDetect®

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    Thin layer analysis with ThinProcess®

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