电子板上的蔡司半导体技术

精密光学的创新技术

在处理器和芯片的性能不断提高给我们的生活带来越来越多方便的同时。我们要了解到处理器和芯片需要集成在非常小的一个表面。在半导体行业的芯片生产厂都大力依靠蔡司顶级性能的光刻镜头。该解决方案代表了芯片生产的核心生产力。

电子板上的蔡司半导体技术

上面的图片显示了一个光刻镜头。一个卡尔蔡司的员工手持一杯他的面部被反射的水。

如果一个人知道今天的诀窍是回顾了当年卡尔.蔡司和阿贝成立的公司,精密光学会是一项关键的技术。 

基础研究在可能的范围内已经被推进,因此,制造方法需要基础研究的支持,并且需要进一步发展的光学仪器也需要基础研究跟上这种发展。卡尔蔡司公司当时是走在最前缘的,现在也是。

 

在每一个可能的位置,不断的增长在越来越小的媒介中存储越来越多的信息,并且拥有更快的数据传输速度,能促进微电子工业用很小的结构更密集的打包电子元件。 芯片只有100nm(1/10微米)的尺寸结构,发展到现在是以前没有预知到的。在系列芯片生产领域,只有在蔡司光学系统的帮助之下才可能实现,特别是质量和过程控制必须跟上这样的发展。

 

控制是重要的…

因为暴露时的十字线错误会转移到芯片的批量生产中,这自然意味着有缺陷的功能集体。当生产出上千的芯片才发现无法使用时,我们无法想象这意味着一个什么样的生产成本。

 

所以在早期阶段去发现和排除这种错误是非常必要的。在使用小而强大的芯片进行大量生产之前,非常重要是用十字线去检查他们的偏差。这就需要顶级性能的镜片。

 

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