蔡司EVO系列 操作直观的模块化扫描电子显微镜平台,适用于日常检测与研究应用
EVO系列结合高性能扫描电子显微镜,为显微镜专家和新用户带来直观且易操作的使用体验。凭借丰富的选件,无论是在生命科学、材料科学,或是在日常工业质量保证和失效分析领域,EVO均可根据您的需求量身定制。
轻松使用丰富功能
SmartSEM Touch,只需指尖轻触便能轻松控制交互式工作流。操作简单易上手,大大减少了培训的工作量及成本,即便是新手用户也能在几分钟内采集到出色的图像。此外,该用户界面还可为需要自动化工作流来完成可重复检测任务的工业操作员提供帮助。
出色的图像质量
EVO在获取无涂层和未改性样品的优良数据方面具备优势。EVO使含水与重度污染的样品保留其原生状态,从而保护数据质量。此外,六硼化镧电子枪还能增强分辨率、衬度和信噪比,这在面对具有挑战性的成像与显微分析时非常重要。
图片说明: 火石,来自打火机的铈铁合金颗粒,使用蔡司EVO成像,HDBSD探测器。
EVO能与其他显微镜良好互联
EVO可作为半自动化和多模式工作流的一部分,无缝衔接再定位感兴趣区域,并且保障多种模式下收集数据的完整性。它可将光学与电子显微镜的数据相结合,进行材料表征或部件检验,也可将EVO与蔡司光学显微镜结合使用,进行关联颗粒度分析。
简单直观的界面让操作更得心应手
在实验室中,操作SEM对于电子显微镜专家而言肯定游刃有余。但SEM的操作对非专业用户而言依然具有挑战,比如学生、新手或质量工程师等,他们往往也需要从SEM获取数据。因此,EVO在设计时便考虑到了这一点,它可选的用户界面能同时满足非显微镜专家和有经验的显微镜专家的操作需求。
迈入检测应用新时代
使用六硼化镧(LaB6)电子枪获取更丰富的数据
相较传统发针型钨灯丝,六硼化镧阴极的电子发射可以按您所需,保证图像的每个细微之处都得到淋漓尽致的展示。您将从下面两方面获益:
- 在电子探针大小(如分辨率)不变的情况下,您可以获得更高的探针电流,更轻松地进行图像导航和优化。
- 在探针束流(信噪比)不变的情况下,束流直径要小得多,可以提高图像分辨率。
EVO能与其他显微镜良好互联
从工作流自动化和关联显微技术中受益
使用蔡司ZEN core,拓展您的应用
用于互联显微技术和图像分析的软件套件
蔡司是各类显微镜和计量系统的供应商,因此您可以将EVO与其他蔡司解决方案融合。可以在(数码)光学显微镜和EVO之间建立一个高效的多模式工作流程,将光学显微镜与众不同的观察方式与扫描电子显微镜特有的成像和分析方法相结合,以获取互补数据,从而得到有关材料、质量或样品失效机制更具价值的信息。
充分发挥ZEN core作为您互联显微技术枢纽的作用。您可以根据多用户环境中显微镜使用者的经验水平,为具体应用定制其功能,并确定工作流程。
享受产品的优势:
- 关联显微技术:光学、数字与电子显微镜之间的样品和数据交换
- 背景数据展现:跨尺度和成像方式的数据可视化和组织
- 包括基于Microsoft Word报告的金相学应用:跨连接图像和数据库的集成报告
- 自动图像分析:基于机器学习算法(深度学习)的图像分割
用于显微分析应用的EDS解决方案
如果SEM单独成像无法实现对部件或样品的全面了解,分析人员将使用能谱仪(EDS)来采集空间可分辨的元素化学信息。
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适用于常规显微分析应用
SEM与EDS的配对使用必须慎重。EVO上的SmartEDX适用于常规显微分析应用,尤其适合对数据可重复性有高要求的客户。其在129 eV能量分辨率和1-5 nA探针电流(典型的EVO工作条件)下具有极高的处理效率。鉴于氮化硅窗口出色的透射率,SmartEDX经过优化,可以探测轻元素的低能量X射线。
以工作流为导向的图形用户界面
SmartEDX的开发旨在改善多用户环境下的易用性和工作流程的可重复性。与其他以工作流为导向的蔡司软件解决方案(如SmartSEM Touch或ZEN core)相同, 对于EVO,SmartEDX软件易于学习,使用也很直观。该软件有助于确保在SEM上重复执行分析任务,在多名操作人员使用系统的环境下依然表现良好。SmartEDX既可作为固定配置的高性价比EDS探测器,也可作为灵活方便的选配版本提供。
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简化操作,更有效地收集EDS数据
使用一台计算机同时控制EDS和SEM。这一集成不仅提高了易用性,还让您尽享显微镜和EDS系统的专用用户界面。您可以利用优化的探测器集成,将EDS信号输入提高至少17%,从而缩短EDS的图像采集时间。
在不同EDS探测器配置之间进行选择
单台计算机的解决方案可为您提供各种EDS配置:可订购牛津设备公司的Xplore 15、30和Ultim Max 40探测器。
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全面的蔡司售后服务和系统支持
SmartEDX完全由蔡司提供支持,因此,这款EDS解决方案非常适合那些有意精简分析设备供应商的客户。所有的安装、预防性维护、质保、诊断与维修、配件物流和总系统服务合同均由蔡司全面负责,助您轻松获取分析SEM解决方案。
EVO系列
蔡司EVO 10
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蔡司EVO 15
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蔡司EVO 25
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可选的背散射探测器和Element EDS系统,EVO 10以非常实惠的价格带您走进扫描电子显微镜的世界。即使是这款最小规格的EVO真空样品仓也能让桌面式SEM变得与众不同。您如今在EVO上的投资可以轻松应对未来所需要的更大空间和端口应用。 |
EVO 15充分体现了EVO系列的灵活设计理念,适合于分析应用。选择更大的EVO 15真空样品仓,并增加可变压力模式用于对非导电样品或零件进行成像和分析,您将拥有一个多功能、多用途的显微镜中心或工业质量保证实验室解决方案。 |
EVO 25是工业主力型解决方案,提供足够大的空间以容纳更大的零部件和组件。可选的80 mm Z轴行程样品台可进一步扩展EVO 25的功能,即使在倾斜的情况下也可处理重达2 kg的样品。此外,大真空室将能够容纳多个分析探测器,以满足苛刻的微量分析应用需求。 |
最大样品高度 |
100 mm |
145 mm |
210 mm |
最大样品直径 |
230 mm |
250 mm |
300 mm |
电动载物台XYZ行程 |
80 x 100 x 35 mm |
125 x 125 x 50 mm |
130 x 130 x 50(或80)mm |
高真空(HV)模式 |
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可变压力(VP)模式 |
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扩展压力(EP)模式 |
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配件
电子束减速成像
使用电子束减速成像来研究精细样品,以此提升图像质量,同时大幅度减少对样品的损坏。如此,您便能够以更高的图像分辨率、表面敏感性和衬度对非导电样品进行成像。将偏置电压施加到样品,这样便可减少样品上的有效着陆能量,而保持较高的主要能量。